報告書番号

T98007

タイトル（和文）

低温弱電離プラズマのレーザー計測法の現状

タイトル（英文）

PRESENT STATE OF LASER DIAGNOSTICS OF LOW TEMPERATURE, WEAKLY IONIZED PLASMAS

概要 （図表や脚注は「報告書全文」に掲載しております）

低温弱電離プラズマのレーザー計測法について調査を行った。測定対象としてプロセス用プラズマ，大気中放電，燃焼場を取り上げた。新しいレーザー技術，光技術を応用することによって測定性能の向上が期待される。具体例として，音響光学素子を波長可変レーザーと分光装置に用いることによりプロセス用プラズマ中や燃焼場中の多種類の物質の二次元的分布を準実時間で測定することが可能となる。また，波面測定技術を応用した単一光路干渉計の開発によって大規模な放電のプラズマ密度測定が可能となる。

概要 （英文）

THIS PAPER SURVEYS LASER DIAGNOSTIC METHODS OF LOW TEMPERATURE, WEAKLY IONIZED PLASMAS. MEASUREMENT EXAMPLES ARE GIVEN FOR PROCESSING PLASMAS, ATMOSPHERIC DISCHARGES, AND COMBUSTION FIELDS. BY INCORPORATING THE LATEST LASER AND OPTICS TECHNOLOGY, MEASUREMENT CHARACTERISTICS CAN BE IMPROVED. FOR EXAMPLE, BY USING ACOUSTO-OPTIC ELEMENTS IN A WAVELENGTH TUNABLE LASER AND SPECTROSCOPY APPRATUS, TWO DIMENSIONAL PROFILE MEASUREMENT OF MULTIPLE SPECIES IN PROCESSING PLASMAS OR COMBUSTION FIELDS WILL BE POSSIBLE IN QUASI REAL TIME. ALSO, BY DEVELOPING A SINGLE OPTICAL PASS INTERFEROMETER USING WAVEFRONT MEASURINGTECHNOLOGY, PLASMA DENSITY MEASUREMENT OF LARGE GAP DISCHARGES WILL BECOME POSSIBLE.

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